共 50 条
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基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510006504.2
申请日：
2025-01-02
公开(公告)号：
CN120527258A
公开(公告)日：
2025-08-22
发明(设计)人：
平井孝典
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
H01L21/687
H01L21/68
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
马长玉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-22 | 公开 | 公开 |