基板保持装置、具有基板保持装置的基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811250661.4

申请日：

2018-10-25

公开(公告)号：

CN109719103A

公开(公告)日：

2019-05-07

发明(设计)人：

柏木诚保科真穗

申请人：

申请人地址：

日本东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B08B1102

IPC分类号：

B24B3710 B24B3730 B24B4106 B24B4712 H01L2167 H01L21687

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 11/02 申请日:20181025
2019-05-07	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[2]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[3]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

日本专利 :CN110391171B ,2024-07-12

[4]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

中国专利 :CN110391171A ,2019-10-29

[5]

基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤洋 .

中国专利 :CN105378909B ,2016-03-02

[6]

基板处理装置、基板保持装置及基板保持方法 [P].

水端稔 .

中国专利 :CN102903658B ,2013-01-30

[7]

基板保持装置、基板处理装置和基板保持方法 [P].

上野幸一 .

中国专利 :CN111244020A ,2020-06-05

[8]

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P].

大川显 ;

锅岛健 .

中国专利 :CN112750746A ,2021-05-04

[9]

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P].

大川显 ;

锅岛健 .

日本专利 :CN112750746B ,2024-01-12

[10]

基板保持装置及基板处理装置 [P].

柏木诚 .

中国专利 :CN112103237A ,2020-12-18

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