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基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201480034840.8
申请日：
2014-03-31
公开(公告)号：
CN105378909B
公开(公告)日：
2016-03-02
发明(设计)人：
加藤洋
申请人：
申请人地址：
日本国京都府京都市
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L21027
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
董雅会;金相允
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-10-12 | 授权 | 授权 |
| 2016-03-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101652508767 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2014800348408 申请日:20140331 |
| 2016-03-02 | 公开 | 公开 |