基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210342309.X

申请日：

2012-09-14

公开(公告)号：

CN103165495A

公开(公告)日：

2013-06-19

发明(设计)人：

加藤洋

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

董雅会;郭晓东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-20	授权	授权
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101494128626 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201210342309X 申请日:20120914
2015-01-14	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709896950 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:201210342309X 变更事项:申请人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本国京都府京都市变更后:日本国京都府京都市
2013-06-19	公开	公开

共 50 条

[1]

基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤洋 .

中国专利 :CN105378909B ,2016-03-02

[2]

基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

蒲裕充 ;

泷昭彦 .

中国专利 :CN106952858A ,2017-07-14

[3]

基板保持旋转装置、基板处理装置 [P].

蒲裕充 ;

泷昭彦 .

中国专利 :CN107017180B ,2017-08-04

[4]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[5]

基板处理装置、基板处理方法以及基板保持构件 [P].

佐藤润 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN106653651B ,2017-05-10

[6]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[7]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

谷泽成规 ;

宫路信行 ;

髙冈诚 ;

泽崎尚树 ;

奥村刚 ;

三浦淳靖 .

中国专利 :CN109427548A ,2019-03-05

[8]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

大泽瑞树 ;

戎居博志 .

日本专利 :CN111052315B ,2024-02-20

[9]

基板处理方法以及基板处理装置 [P].

樋口鲇美 ;

岩崎晃久 .

中国专利 :CN110214365A ,2019-09-06

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

滨田晃一 ;

小林信雄 .

中国专利 :CN105051869B ,2015-11-11

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