基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610864314.5

申请日：

2016-09-29

公开(公告)号：

CN106952858A

公开(公告)日：

2017-07-14

发明(设计)人：

蒲裕充泷昭彦

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

向勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101739971692 IPC(主分类):H01L 21/687 专利申请号:2016108643145 申请日:20160929
2017-07-14	公开	公开
2020-04-17	授权	授权

共 50 条

[1]

基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤洋 .

中国专利 :CN103165495A ,2013-06-19

[2]

基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤洋 .

中国专利 :CN105378909B ,2016-03-02

[3]

基板保持旋转装置、基板处理装置 [P].

蒲裕充 ;

泷昭彦 .

中国专利 :CN107017180B ,2017-08-04

[4]

基板处理装置、基板处理方法以及基板保持构件 [P].

佐藤润 ;

三浦繁博 .

中国专利 :CN106653651B ,2017-05-10

[5]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[6]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[7]

基板保持装置、具有基板保持装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

柏木诚 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN109719103A ,2019-05-07

[8]

基板处理装置以及基板旋转装置 [P].

田中澄 ;

铃木公贵 .

中国专利 :CN101515541A ,2009-08-26

[9]

基板处理装置以及基板旋转装置 [P].

田中澄 ;

铃木公贵 .

中国专利 :CN101010792A ,2007-08-01

[10]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

日本专利 :CN110391171B ,2024-07-12

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