基板处理装置以及基板旋转装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910126384.0

申请日：

2005-10-27

公开(公告)号：

CN101515541A

公开(公告)日：

2009-08-26

发明(设计)人：

田中澄铃木公贵

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21324 H01L21687

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-26	公开	公开
2009-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-07-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101412329055 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2009101263840 公开日:20090826

共 50 条

[1]

基板处理装置以及基板旋转装置 [P].

田中澄 ;

铃木公贵 .

中国专利 :CN101010792A ,2007-08-01

[2]

基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

蒲裕充 ;

泷昭彦 .

中国专利 :CN106952858A ,2017-07-14

[3]

基板保持旋转装置、基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤洋 .

中国专利 :CN103165495A ,2013-06-19

[4]

基板保持旋转装置、具有基板保持旋转装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

加藤洋 .

中国专利 :CN105378909B ,2016-03-02

[5]

基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法 [P].

佐藤一树 ;

茨田敏光 .

中国专利 :CN110828335A ,2020-02-21

[6]

基板旋转装置、基板清洗装置、基板处理装置以及基板旋转装置的控制方法 [P].

佐藤一树 ;

茨田敏光 .

日本专利 :CN110828335B ,2024-06-07

[7]

基板保持旋转装置、基板处理装置 [P].

蒲裕充 ;

泷昭彦 .

中国专利 :CN107017180B ,2017-08-04

[8]

基板支承装置以及基板处理装置 [P].

筱崎谅 .

中国专利 :CN115692295A ,2023-02-03

[9]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金度延 ;

吴世勋 ;

金源根 ;

李周美 ;

黄浩钟 ;

许弼覠 ;

尹铉 ;

李忠现 ;

朴炫九 .

韩国专利 :CN112201589B ,2024-04-05

[10]

基板处理装置以及基板处理方法 [P].

金度延 ;

吴世勋 ;

金源根 ;

李周美 ;

黄浩钟 ;

许弼覠 ;

尹铉 ;

李忠现 ;

朴炫九 .

中国专利 :CN112201589A ,2021-01-08

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