共 50 条
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基板处理装置以及基板保持装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910298873.8
申请日：
2019-04-15
公开(公告)号：
CN110391171A
公开(公告)日：
2019-10-29
发明(设计)人：
小林贤一
户川哲二
申请人：
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
肖华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-29 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20190415 |