共 50 条
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基板保持装置、基板处理装置和基板保持方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911086918.1
申请日：
2019-11-08
公开(公告)号：
CN111244020A
公开(公告)日：
2020-06-05
发明(设计)人：
上野幸一
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市上京区堀川通寺之内上4丁目天神北町1番地之1（邮编：602-8585）
IPC主分类号：
H01L21687
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
罗英;臧建明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20191108 |
| 2020-06-05 | 公开 | 公开 |