共 50 条
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基板保持方法、基板保持装置、处理方法和处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680019629.8
申请日：
2016-02-10
公开(公告)号：
CN107431039A
公开(公告)日：
2017-12-01
发明(设计)人：
带金正
柴田秀和
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21683
IPC分类号：
H01L2166
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-12 | 授权 | 授权 |
| 2017-12-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20160210 |
| 2017-12-01 | 公开 | 公开 |