共 50 条
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基板保持方法及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280065029.0
申请日：
2022-11-16
公开(公告)号：
CN117999644A
公开(公告)日：
2024-05-07
发明(设计)人：
冈信介
申请人：
东京毅力科创株式会社
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
吕琳;朴秀玉
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20221116 |
| 2024-05-07 | 公开 | 公开 |