基板处理装置、基板保持装置及基板保持方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210158626.6

申请日：

2012-05-16

公开(公告)号：

CN102903658B

公开(公告)日：

2013-01-30

发明(设计)人：

水端稔

申请人：

申请人地址：

日本国京都府京都市

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

董雅会;郭晓东

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101709903198 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2012101586266 变更事项:申请人变更前:大日本网屏制造株式会社变更后:斯克林集团公司变更事项:地址变更前:日本国京都府京都市变更后:日本国京都府京都市
2013-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101409718810 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2012101586266 申请日:20120516
2015-05-27	授权	授权
2013-01-30	公开	公开

共 50 条

[1]

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P].

大川显 ;

锅岛健 .

中国专利 :CN112750746A ,2021-05-04

[2]

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置 [P].

大川显 ;

锅岛健 .

日本专利 :CN112750746B ,2024-01-12

[3]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[4]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[5]

基板保持装置、基板处理装置和基板保持方法 [P].

上野幸一 .

中国专利 :CN111244020A ,2020-06-05

[6]

基板保持装置及基板处理装置 [P].

藤内裕史 ;

棚田优祐 .

日本专利 :CN120413513A ,2025-08-01

[7]

基板保持装置及基板处理装置 [P].

池田文彦 .

中国专利 :CN206293422U ,2017-06-30

[8]

基板保持装置及基板处理装置 [P].

柏木诚 .

中国专利 :CN112103237A ,2020-12-18

[9]

基板保持装置、具有基板保持装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

柏木诚 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN109719103A ,2019-05-07

[10]

基板保持装置及基板处理装置 [P].

村元僚 .

中国专利 :CN111095520A ,2020-05-01

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