共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
基板保持装置及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510039994.6
申请日：
2025-01-10
公开(公告)号：
CN120413513A
公开(公告)日：
2025-08-01
发明(设计)人：
藤内裕史
棚田优祐
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
B08B3/02
B08B13/00
H01L21/67
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
陈伟;沈静
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20250110 |
| 2025-08-01 | 公开 | 公开 |