共 50 条
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基板保持装置及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880055892.1
申请日：
2018-08-01
公开(公告)号：
CN111095520B
公开(公告)日：
2024-06-07
发明(设计)人：
村元僚
申请人：
株式会社斯库林集团
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/304
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
陈伟;王娟娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-07 | 授权 | 授权 |