基板保持装置以及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310574014.X

申请日：

2013-11-15

公开(公告)号：

CN103817589B

公开(公告)日：

2014-05-28

发明(设计)人：

筱崎弘行

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B3734 B24B4910 B24B5302

代理机构：

上海市华诚律师事务所 31210

代理人：

梅高强;刘煜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-25	授权	授权
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101639534050 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:201310574014X 申请日:20131115
2014-05-28	公开	公开

共 50 条

[1]

基板保持装置、研磨装置、研磨方法及保持环 [P].

山木晓 ;

安田穗积 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 .

中国专利 :CN104625948B ,2015-05-20

[2]

基板保持装置、基板研磨装置、弹性构件以及基板保持装置的制造方法 [P].

锅谷治 .

中国专利 :CN110509179A ,2019-11-29

[3]

基板保持装置及研磨装置 [P].

安田穗积 ;

福岛诚 ;

锅谷治 ;

岸本雅彦 .

中国专利 :CN104786139A ,2015-07-22

[4]

基板保持装置、弹性膜、研磨装置以及弹性膜的更换方法 [P].

锅谷治 ;

福岛诚 ;

并木计介 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

岸本雅彦 ;

大和田朋子 .

中国专利 :CN108015668A ,2018-05-11

[5]

基板研磨装置以及研磨方法 [P].

中西正行 ;

小寺健治 .

中国专利 :CN109746826A ,2019-05-14

[6]

被研磨基板的保持装置 [P].

西尾干夫 .

中国专利 :CN1141202C ,1996-12-25

[7]

研磨装置、研磨头以及保持环 [P].

安田穗积 ;

福岛诚 ;

锅谷治 .

中国专利 :CN106181751A ,2016-12-07

[8]

保持件、用于保持基板的研磨头以及基板处理装置 [P].

小林贤一 ;

柏木诚 .

日本专利 :CN111745533B ,2024-10-01

[9]

用于保持基板的研磨头以及基板处理装置 [P].

小林贤一 ;

柏木诚 .

中国专利 :CN111745533A ,2020-10-09

[10]

基板保持装置以及基板保持方法 [P].

辻泽孝文 .

中国专利 :CN114121754A ,2022-03-01

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