基板研磨装置以及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811317803.4

申请日：

2018-11-07

公开(公告)号：

CN109746826A

公开(公告)日：

2019-05-14

发明(设计)人：

中西正行小寺健治

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 B24B3734 B24B4104 B24B2700 B24B4916

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20181107
2019-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

基板研磨装置和基板研磨方法 [P].

藤本拓矢 ;

高田畅行 .

中国专利 :CN115139214A ,2022-10-04

[2]

基板研磨方法、顶环以及基板研磨装置 [P].

矶野慎太郎 ;

安田穗积 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 ;

山木晓 .

中国专利 :CN107186617B ,2017-09-22

[3]

基板研磨装置及基板研磨装置的研磨液吐出方法 [P].

户川哲二 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN111032283B ,2020-04-17

[4]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

渡边夕贵 ;

八木圭太 .

中国专利 :CN109290942B ,2019-02-01

[5]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

西尾干夫 .

中国专利 :CN1494982A ,2004-05-12

[6]

研磨装置、研磨系统、基板处理装置以及研磨方法 [P].

铃木佑多 ;

高桥太郎 .

中国专利 :CN109719612A ,2019-05-07

[7]

研磨装置、基板处理装置以及研磨方法 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 .

日本专利 :CN117813180A ,2024-04-02

[8]

基板研磨装置、基板研磨方法、研磨装置及研磨方法 [P].

吉田笃史 ;

石井游 ;

中西正行 .

日本专利 :CN119212826A ,2024-12-27

[9]

研磨装置以及研磨方法 [P].

大田浩平 ;

髙田畅行 .

日本专利 :CN120206389A ,2025-06-27

[10]

研磨头以及研磨装置 [P].

赤泽贤一 ;

柏木诚 ;

石井游 ;

吉田笃史 ;

小林贤一 ;

户川哲二 ;

安田穗积 .

中国专利 :CN110919527A ,2020-03-27

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