基板研磨装置、基板研磨方法、研磨装置及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380039820.9

申请日：

2023-03-08

公开(公告)号：

CN119212826A

公开(公告)日：

2024-12-27

发明(设计)人：

吉田笃史石井游中西正行

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37/005

IPC分类号：

B24B7/00 B24B21/00 B24B37/013 B24B37/10 B24B37/32 B24B41/06 B24B49/10 B24B49/12 H01L21/304

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

渡边夕贵 ;

八木圭太 .

中国专利 :CN109290942B ,2019-02-01

[2]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

福永明 ;

渡边和英 ;

小畠严贵 ;

辻村学 .

中国专利 :CN110663103A ,2020-01-07

[3]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

周文涛 .

中国专利 :CN111152095A ,2020-05-15

[4]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

西尾干夫 .

中国专利 :CN1494982A ,2004-05-12

[5]

基板的研磨装置及研磨方法 [P].

安田穗积 ;

小畠严贵 ;

高桥信行 ;

作川卓 .

中国专利 :CN110461542A ,2019-11-15

[6]

基板研磨方法、程序及基板研磨装置 [P].

斋藤步 .

日本专利 :CN119546417A ,2025-02-28

[7]

基板研磨装置和基板研磨方法 [P].

藤本拓矢 ;

高田畅行 .

中国专利 :CN115139214A ,2022-10-04

[8]

基板研磨方法和基板研磨装置 [P].

椛沢雅志 ;

八木圭太 .

日本专利 :CN120095703A ,2025-06-06

[9]

基板研磨装置及基板研磨装置的研磨液吐出方法 [P].

户川哲二 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN111032283B ,2020-04-17

[10]

基板研磨装置及其研磨方法 [P].

高文龙 .

中国专利 :CN108527144A ,2018-09-14

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/005申请日:20230308
2024-12-27	公开	公开