基板研磨装置及其研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810263023.X

申请日：

2018-03-28

公开(公告)号：

CN108527144A

公开(公告)日：

2018-09-14

发明(设计)人：

高文龙

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3700 B24B3734 B24B4900 B24B2700

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

唐清凯

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	授权	授权
2018-09-14	公开	公开
2018-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20180328

共 50 条

[1]

基板研磨装置和基板研磨方法 [P].

藤本拓矢 ;

高田畅行 .

中国专利 :CN115139214A ,2022-10-04

[2]

基板研磨装置、基板研磨方法、研磨装置及研磨方法 [P].

吉田笃史 ;

石井游 ;

中西正行 .

日本专利 :CN119212826A ,2024-12-27

[3]

基板研磨装置以及研磨方法 [P].

中西正行 ;

小寺健治 .

中国专利 :CN109746826A ,2019-05-14

[4]

基板研磨装置及基板研磨装置的研磨液吐出方法 [P].

户川哲二 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN111032283B ,2020-04-17

[5]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

渡边夕贵 ;

八木圭太 .

中国专利 :CN109290942B ,2019-02-01

[6]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

福永明 ;

渡边和英 ;

小畠严贵 ;

辻村学 .

中国专利 :CN110663103A ,2020-01-07

[7]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

周文涛 .

中国专利 :CN111152095A ,2020-05-15

[8]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

西尾干夫 .

中国专利 :CN1494982A ,2004-05-12

[9]

基板研磨方法和基板研磨装置 [P].

椛沢雅志 ;

八木圭太 .

日本专利 :CN120095703A ,2025-06-06

[10]

基板研磨方法、程序及基板研磨装置 [P].

斋藤步 .

日本专利 :CN119546417A ,2025-02-28

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