基板研磨装置及基板研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200310101489.3

申请日：

1996-04-08

公开(公告)号：

CN1494982A

公开(公告)日：

2004-05-12

发明(设计)人：

西尾干夫

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王以平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-07-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2004-05-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

渡边夕贵 ;

八木圭太 .

中国专利 :CN109290942B ,2019-02-01

[2]

基板研磨装置、基板研磨方法、研磨装置及研磨方法 [P].

吉田笃史 ;

石井游 ;

中西正行 .

日本专利 :CN119212826A ,2024-12-27

[3]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

福永明 ;

渡边和英 ;

小畠严贵 ;

辻村学 .

中国专利 :CN110663103A ,2020-01-07

[4]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

周文涛 .

中国专利 :CN111152095A ,2020-05-15

[5]

基板研磨装置和基板研磨方法 [P].

藤本拓矢 ;

高田畅行 .

中国专利 :CN115139214A ,2022-10-04

[6]

基板研磨系统及方法和基板研磨装置 [P].

铃木佑多 ;

高桥太郎 ;

小川彰彦 ;

降矢滋行 ;

八木裕治 ;

高田畅行 ;

德永晋平 .

日本专利 :CN111604809B ,2024-05-31

[7]

基板研磨系统及方法和基板研磨装置 [P].

铃木佑多 ;

高桥太郎 ;

小川彰彦 ;

降矢滋行 ;

八木裕治 ;

高田畅行 ;

德永晋平 .

中国专利 :CN111604809A ,2020-09-01

[8]

基板研磨方法、程序及基板研磨装置 [P].

斋藤步 .

日本专利 :CN119546417A ,2025-02-28

[9]

基板研磨装置及方法 [P].

渡边夕贵 ;

八木圭太 .

中国专利 :CN109382755B ,2019-02-26

[10]

基板研磨方法和基板研磨装置 [P].

椛沢雅志 ;

八木圭太 .

日本专利 :CN120095703A ,2025-06-06

← 1 2 3 4 5 →