研磨装置、基板处理装置以及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280054920.4

申请日：

2022-04-19

公开(公告)号：

CN117813180A

公开(公告)日：

2024-04-02

发明(设计)人：

石井弘晃石井淳一

申请人：

株式会社斯库林集团

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

B24B49/14

IPC分类号：

B24B7/04 B24B41/06 B24B49/16 H01L21/304 H01L21/677

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨宏军

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-02	公开	公开
2024-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 49/14申请日:20220419

共 50 条

[1]

研磨方法及基板处理装置 [P].

石井弘晃 ;

石井淳一 .

日本专利 :CN117858782A ,2024-04-09

[2]

研磨装置、研磨系统、基板处理装置以及研磨方法 [P].

铃木佑多 ;

高桥太郎 .

中国专利 :CN109719612A ,2019-05-07

[3]

基板处理装置、研磨装置、以及基板处理方法 [P].

佐藤航平 ;

深谷孝一 ;

高桥広毅 ;

近藤大地 .

日本专利 :CN117954348A ,2024-04-30

[4]

基板研磨装置以及研磨方法 [P].

中西正行 ;

小寺健治 .

中国专利 :CN109746826A ,2019-05-14

[5]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

福永明 ;

渡边和英 ;

小畠严贵 ;

辻村学 .

中国专利 :CN110663103A ,2020-01-07

[6]

基板研磨装置、基板研磨方法、研磨装置及研磨方法 [P].

吉田笃史 ;

石井游 ;

中西正行 .

日本专利 :CN119212826A ,2024-12-27

[7]

基板研磨方法、顶环以及基板研磨装置 [P].

矶野慎太郎 ;

安田穗积 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 ;

山木晓 .

中国专利 :CN107186617B ,2017-09-22

[8]

研磨装置以及研磨方法 [P].

山本雄士 ;

古重彻 .

日本专利 :CN111805433B ,2024-05-31

[9]

研磨装置以及研磨方法 [P].

山本雄士 ;

古重彻 .

中国专利 :CN111805433A ,2020-10-23

[10]

研磨装置、研磨方法、处理装置 [P].

高桥圭瑞 ;

伊藤贤也 ;

关正也 ;

草宏明 .

中国专利 :CN101522368A ,2009-09-02

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