研磨装置以及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411927953.2

申请日：

2024-12-25

公开(公告)号：

CN120206389A

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

大田浩平髙田畅行

申请人：

株式会社荏原制作所

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B37/005

IPC分类号：

B24B37/013 B24B37/04 B24B37/10 B24B37/20 B24B37/34 B24B51/00 B24B49/04 B24B1/00

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-27	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨装置以及研磨方法 [P].

上村健司 ;

小林贤一 .

中国专利 :CN107097146A ,2017-08-29

[2]

研磨装置以及研磨方法 [P].

小林洋一 ;

八木圭太 .

中国专利 :CN104889879B ,2015-09-09

[3]

研磨装置以及研磨方法 [P].

篠崎弘行 ;

铃木佑多 ;

高桥太郎 ;

胜冈诚司 ;

畠山雅规 .

中国专利 :CN113001396A ,2021-06-22

[4]

基板研磨装置以及研磨方法 [P].

中西正行 ;

小寺健治 .

中国专利 :CN109746826A ,2019-05-14

[5]

研磨装置以及研磨方法 [P].

金马利文 ;

木下将毅 .

中国专利 :CN108942640B ,2018-12-07

[6]

研磨装置以及研磨方法 [P].

前田和良 ;

涩谷纪仁 .

中国专利 :CN107000163A ,2017-08-01

[7]

研磨系统以及研磨方法 [P].

篠崎弘行 ;

铃木佑多 ;

高桥太郎 ;

胜冈诚司 ;

畠山雅规 .

中国专利 :CN107877356B ,2018-04-06

[8]

研磨垫以及研磨装置 [P].

邱汉郎 ;

郑裕隆 .

中国专利 :CN201483382U ,2010-05-26

[9]

研磨垫以及研磨装置 [P].

邱汉郎 ;

陈少禹 ;

郑裕隆 .

中国专利 :CN201261164Y ,2009-06-24

[10]

研磨方法以及研磨装置 [P].

金马利文 .

中国专利 :CN104117903A ,2014-10-29

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