用于保持基板的研磨头以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010067009.X

申请日：

2020-01-20

公开(公告)号：

CN111745533A

公开(公告)日：

2020-10-09

发明(设计)人：

小林贤一柏木诚

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3711

IPC分类号：

B24B3720 B24B3726 B24B3730 B24B3734

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

肖华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/11 申请日:20200120
2020-10-09	公开	公开

共 50 条

[1]

保持件、用于保持基板的研磨头以及基板处理装置 [P].

小林贤一 ;

柏木诚 .

日本专利 :CN111745533B ,2024-10-01

[2]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[3]

基板处理装置、研磨装置、以及基板处理方法 [P].

佐藤航平 ;

深谷孝一 ;

高桥広毅 ;

近藤大地 .

日本专利 :CN117954348A ,2024-04-30

[4]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[5]

基板保持装置、具有基板保持装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

柏木诚 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN109719103A ,2019-05-07

[6]

基板处理装置、研磨头和基板处理方法 [P].

伊贺田利实 .

中国专利 :CN114102423A ,2022-03-01

[7]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

日本专利 :CN110391171B ,2024-07-12

[8]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

中国专利 :CN110391171A ,2019-10-29

[9]

基板保持装置以及研磨装置 [P].

筱崎弘行 .

中国专利 :CN103817589B ,2014-05-28

[10]

用于保持基板的顶环以及基板处理装置 [P].

小林贤一 ;

真继阿沙葵 ;

柏木诚 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN110788740B ,2020-02-14

← 1 2 3 4 5 →