用于保持基板的顶环以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910708221.7

申请日：

2019-08-01

公开(公告)号：

CN110788740B

公开(公告)日：

2020-02-14

发明(设计)人：

小林贤一真继阿沙葵柏木诚保科真穗

申请人：

申请人地址：

日本东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3730 B24B3734 H01L21304

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

肖华

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-14	公开	公开
2022-12-13	授权	授权
2021-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20190801

共 50 条

[1]

用于保持基板的顶环及基板处理装置 [P].

石井游 ;

佐鸟博俊 ;

柏木诚 ;

古泽磨奈人 .

日本专利 :CN112894612B ,2024-06-04

[2]

用于保持基板的顶环及基板处理装置 [P].

石井游 ;

佐鸟博俊 ;

柏木诚 ;

古泽磨奈人 .

中国专利 :CN112894612A ,2021-06-04

[3]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[4]

基板保持装置、基板处理装置以及基板保持方法 [P].

平井孝典 .

日本专利 :CN120527258A ,2025-08-22

[5]

基板保持装置、具有基板保持装置的基板处理装置以及基板处理方法 [P].

柏木诚 ;

保科真穗 .

中国专利 :CN109719103A ,2019-05-07

[6]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

日本专利 :CN110391171B ,2024-07-12

[7]

基板处理装置以及基板保持装置 [P].

小林贤一 ;

户川哲二 .

中国专利 :CN110391171A ,2019-10-29

[8]

用于保持基板的研磨头以及基板处理装置 [P].

小林贤一 ;

柏木诚 .

中国专利 :CN111745533A ,2020-10-09

[9]

保持件、用于保持基板的研磨头以及基板处理装置 [P].

小林贤一 ;

柏木诚 .

日本专利 :CN111745533B ,2024-10-01

[10]

基板保持构件以及基板处理装置 [P].

田中澄 ;

斋藤哲也 ;

夏原益宏 ;

仲田博彦 .

中国专利 :CN100413024C ,2006-11-22

← 1 2 3 4 5 →