共 50 条
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用于保持基板的顶环及基板处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011291745.X
申请日：
2020-11-18
公开(公告)号：
CN112894612A
公开(公告)日：
2021-06-04
发明(设计)人：
石井游
佐鸟博俊
柏木诚
古泽磨奈人
申请人：
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
B24B3732
IPC分类号：
B24B3734
B24B3710
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-04 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/32 申请日:20201118 |