被研磨基板的保持装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN96104611.2

申请日：

1996-04-08

公开(公告)号：

CN1141202C

公开(公告)日：

1996-12-25

发明(设计)人：

西尾干夫

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B24B722

IPC分类号：

B24B2900 B24B100 H01L21302 H01L21304

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

杜日新

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-03-10	授权	授权
1998-07-15	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
1996-12-25	公开	公开
2016-05-25	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101662506318 IPC(主分类):B24B 7/22 专利号:ZL961046112 申请日:19960408 授权公告日:20040310 终止日期:无

共 50 条

[1]

基板保持装置、研磨装置、研磨方法及保持环 [P].

山木晓 ;

安田穗积 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

福岛诚 ;

富樫真吾 .

中国专利 :CN104625948B ,2015-05-20

[2]

基板保持装置以及研磨装置 [P].

筱崎弘行 .

中国专利 :CN103817589B ,2014-05-28

[3]

基板保持装置及研磨装置 [P].

安田穗积 ;

福岛诚 ;

锅谷治 ;

岸本雅彦 .

中国专利 :CN104786139A ,2015-07-22

[4]

基板保持装置、基板研磨装置、弹性构件以及基板保持装置的制造方法 [P].

锅谷治 .

中国专利 :CN110509179A ,2019-11-29

[5]

基板处理装置、基板保持装置以及基板保持方法 [P].

功刀裕二 ;

佐佐木芳彦 ;

齐藤均 .

日本专利 :CN117438363A ,2024-01-23

[6]

基板研磨装置及基板研磨方法 [P].

西尾干夫 .

中国专利 :CN1494982A ,2004-05-12

[7]

基板保持装置および基板研磨装置[ja] [P].

日本专利 :JP7117933B2 ,2022-08-15

[8]

弹性膜、基板保持装置及研磨装置 [P].

福岛诚 ;

安田穂积 ;

並木计介 ;

锅谷治 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

矶野慎太郎 .

中国专利 :CN109093507B ,2018-12-28

[9]

弹性膜、基板保持装置及研磨装置 [P].

福岛诚 ;

安田穗积 ;

並木计介 ;

锅谷治 ;

富樫真吾 ;

山木晓 ;

矶野慎太郎 .

中国专利 :CN104942704A ,2015-09-30

[10]

弹性膜、基板保持装置及研磨装置 [P].

山木晓 ;

福岛诚 ;

并木计介 ;

锅谷治 ;

富樫真吾 ;

大和田朋子 ;

加藤良和 .

中国专利 :CN109366344B ,2019-02-22

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