一种用于CVD固态源的挥发装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720434437.5

申请日：

2017-04-24

公开(公告)号：

CN206935318U

公开(公告)日：

2018-01-30

发明(设计)人：

郭国平杨晖李海欧曹刚肖明郭光灿

申请人：

申请人地址：

230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

IPC主分类号：

B01J303

IPC分类号：

代理机构：

北京凯特来知识产权代理有限公司 11260

代理人：

郑立明;郑哲

法律状态：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于CVD固态源的挥发装置 [P].

郭国平 ;

杨晖 ;

李海欧 ;

曹刚 ;

肖明 ;

郭光灿 .

中国专利 :CN106861557A ,2017-06-20

[2]

一种固态源瓶 [P].

刘彦峰 ;

赖海斌 ;

王桐 ;

王韫宇 ;

赵茂生 .

中国专利 :CN213835530U ,2021-07-30

[3]

一种用于CVD的多气源进气装置 [P].

杨泰生 ;

王良均 ;

凌鑫涛 .

中国专利 :CN221956192U ,2024-11-05

[4]

一种用于CVD设备的过滤装置 [P].

林俊贤 .

中国专利 :CN207153388U ,2018-03-30

[5]

一种固态MO源瓶 [P].

徐成 ;

聂江辉 ;

朱刘 .

中国专利 :CN214458307U ,2021-10-22

[6]

一种用于易挥发易氧化材料的热处理用装置 [P].

马步洋 ;

邵义雄 ;

缪晓宇 .

中国专利 :CN203855612U ,2014-10-01

[7]

一种用于装填固态金属有机源的钢瓶 [P].

陈鹏 ;

王伟 ;

郑述安 .

中国专利 :CN218237058U ,2023-01-06

[8]

一种用于固态粉末物料的输送装置 [P].

倪少龙 .

中国专利 :CN202670742U ,2013-01-16

[9]

一种用于CVD的供气装置 [P].

邓春阳 ;

王良均 ;

杨泰生 ;

吴承晚 .

中国专利 :CN222908058U ,2025-05-27

[10]

一种用于固态源注入工艺的离子源装置 [P].

李轩 ;

杨立军 ;

翟军明 ;

李强强 ;

沈斌 ;

汤程 ;

夏世伟 ;

张劲 ;

卢合强 ;

高国珺 ;

贾礼宾 .

中国专利 :CN216528737U ,2022-05-13

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