光刻胶组合物及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010460924.5
申请日
2020-05-27
公开(公告)号
CN111505902A
公开(公告)日
2020-08-07
发明(设计)人
胡凡华 卢克军 朴大然 张腾 何卿
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
G03F7004
IPC分类号
代理机构
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人
申健
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
胡凡华 ;
卢克军 ;
朴大然 ;
张腾 ;
何卿 .
中国专利 :CN111505902B ,2024-02-20
[2]
一种光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
徐娟 ;
王猛 ;
周建 .
中国专利 :CN112684661A ,2021-04-20
[3]
光刻胶组合物 [P]. 
J·F·卡梅伦 ;
D·W·李 ;
P·特雷夫纳斯 ;
G·J·斯万森 ;
J.W.宋 .
中国专利 :CN1821869A ,2006-08-23
[4]
光刻胶组合物及其制备方法和应用 [P]. 
刘洪雷 ;
卢克军 ;
朴大然 ;
张腾 ;
胡凡华 ;
张宁 .
中国专利 :CN117826531A ,2024-04-05
[5]
光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
李吉 ;
李泳锐 .
中国专利 :CN104503205A ,2015-04-08
[6]
一种光刻胶组合物及其制备方法 [P]. 
杨金梁 .
中国专利 :CN120428520A ,2025-08-05
[7]
光刻胶组合物 [P]. 
山下裕子 ;
安藤信雄 .
中国专利 :CN102117013A ,2011-07-06
[8]
光刻胶组合物 [P]. 
釜渊明 ;
山下裕子 .
中国专利 :CN102023479A ,2011-04-20
[9]
光刻胶组合物 [P]. 
金相奏 ;
康升镇 ;
成始震 ;
末次益实 ;
山田爱理 .
中国专利 :CN100524019C ,2003-04-02
[10]
光刻胶组合物 [P]. 
山口训史 ;
金淳信 ;
吉田勋 ;
市川幸司 .
中国专利 :CN102033426A ,2011-04-27