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一种光刻胶组合物及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011537032.7
申请日：
2020-12-23
公开(公告)号：
CN112684661A
公开(公告)日：
2021-04-20
发明(设计)人：
徐娟
王猛
周建
申请人：
申请人地址：
236400 安徽省阜阳市临泉县邢塘街道办事处霞光大道16号柏联创新科技产业园五栋201室
IPC主分类号：
G03F7004
IPC分类号：
G03F7016
代理机构：
合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184
代理人：
杨霞
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-20 | 公开 | 公开 |
| 2022-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20201223 |