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一种低温真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021340215.5
申请日：
2020-07-09
公开(公告)号：
CN213086097U
公开(公告)日：
2021-04-30
发明(设计)人：
陈中修
谢培康
吕存山
申请人：
申请人地址：
201606 上海市松江区泖港镇新宾路1582号
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-30 | 授权 | 授权 |