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一种低温真空镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920067024.7
申请日：
2019-01-16
公开(公告)号：
CN209974868U
公开(公告)日：
2020-01-21
发明(设计)人：
蒋建华
向毅
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市花桥镇双华路西侧2幢
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329
代理人：
仲昌民
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-21 | 授权 | 授权 |
| 2021-12-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20190116 授权公告日:20200121 终止日期:20210116 |