一种高效率制备硅芯的方法和硅芯制备炉

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专利类型
发明
申请号
CN201110305550.0
申请日
2011-10-11
公开(公告)号
CN102345164A
公开(公告)日
2012-02-08
发明(设计)人
徐文龙 陈少华 景远波
申请人
申请人地址
611436 四川省成都市新津县工业园区B区
IPC主分类号
C30B2810
IPC分类号
C30B2906
代理机构
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211
代理人
方强
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
硅芯制备方法和硅芯制备设备 [P]. 
孙强 ;
张邦洁 ;
尹杏 ;
陈辉 ;
万烨 ;
张晓伟 .
中国专利 :CN113061988A ,2021-07-02
[2]
一种硅芯制备炉 [P]. 
金胜 ;
薛建云 ;
施红亮 ;
邱风 .
中国专利 :CN211897174U ,2020-11-10
[3]
硅芯制备系统及制备方法 [P]. 
杨明财 ;
丁小海 ;
宗冰 ;
蔡延国 ;
王体虎 .
中国专利 :CN112251807A ,2021-01-22
[4]
一种方形硅芯的制备方法 [P]. 
李帅 ;
吴海啸 ;
刘小明 ;
武建华 ;
邢瑞栋 ;
边雨 .
中国专利 :CN113355737A ,2021-09-07
[5]
硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉 [P]. 
张孝山 ;
汪成洋 ;
陈斌 ;
甘易武 ;
冉胜国 .
中国专利 :CN213866497U ,2021-08-03
[6]
硅芯制备设备 [P]. 
孙强 ;
张邦洁 ;
尹杏 ;
陈辉 ;
万烨 ;
张晓伟 .
中国专利 :CN215251330U ,2021-12-21
[7]
一种用于多晶硅制备的硅芯还原炉 [P]. 
张肇钦 ;
王章伟 ;
张毅 .
中国专利 :CN217808775U ,2022-11-15
[8]
硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法 [P]. 
施光明 ;
李宇辰 ;
王琳 ;
韩玲 ;
郭光伟 ;
吉红平 ;
何乃栋 ;
陈宏博 .
中国专利 :CN111774956A ,2020-10-16
[9]
一种可测量硅芯直径的硅芯炉 [P]. 
张孝山 ;
汪成洋 ;
陈斌 .
中国专利 :CN208250456U ,2018-12-18
[10]
用于硅芯炉的预热装置和具有其的硅芯炉 [P]. 
吴家印 ;
黄启磊 ;
周茂辉 ;
吴鹏 ;
高国翔 .
中国专利 :CN221588757U ,2024-08-23