硅芯制备方法和硅芯制备设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110259705.5

申请日：

2021-03-10

公开(公告)号：

CN113061988A

公开(公告)日：

2021-07-02

发明(设计)人：

孙强张邦洁尹杏陈辉万烨张晓伟

申请人：

申请人地址：

100038 北京市海淀区复兴路12号

IPC主分类号：

C30B2906

IPC分类号：

C30B1500 C30B1520 C30B2810

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

杜德海

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20210310
2021-07-02	公开	公开

共 50 条

[1]

硅芯制备设备 [P].

孙强 ;

张邦洁 ;

尹杏 ;

陈辉 ;

万烨 ;

张晓伟 .

中国专利 :CN215251330U ,2021-12-21

[2]

硅芯制备系统及制备方法 [P].

杨明财 ;

丁小海 ;

宗冰 ;

蔡延国 ;

王体虎 .

中国专利 :CN112251807A ,2021-01-22

[3]

一种高效率制备硅芯的方法和硅芯制备炉 [P].

徐文龙 ;

陈少华 ;

景远波 .

中国专利 :CN102345164A ,2012-02-08

[4]

一种硅芯制备设备 [P].

孟兵营 ;

王统珍 ;

顾旭祖 ;

李战团 .

中国专利 :CN113798965B ,2021-12-17

[5]

高纯硅芯制备方法及制备装置 [P].

蔡延国 ;

丁小海 ;

杨明财 ;

吉红平 ;

张孝山 ;

施光明 ;

曹延德 ;

肖建忠 ;

宗冰 ;

梁哲 .

中国专利 :CN114408927A ,2022-04-29

[6]

一种硅芯制备炉 [P].

金胜 ;

薛建云 ;

施红亮 ;

邱风 .

中国专利 :CN211897174U ,2020-11-10

[7]

硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉 [P].

张孝山 ;

汪成洋 ;

陈斌 ;

甘易武 ;

冉胜国 .

中国专利 :CN213866497U ,2021-08-03

[8]

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222961616U ,2025-06-10

[9]

周大荣 .

中国专利 :CN202090103U ,2011-12-28

[10]

一种方形硅芯的制备方法 [P].

李帅 ;

吴海啸 ;

刘小明 ;

武建华 ;

邢瑞栋 ;

边雨 .

中国专利 :CN113355737A ,2021-09-07

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