真空镀膜传动机构用磁流体密封装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210067837.9
申请日
2012-03-14
公开(公告)号
CN102588606A
公开(公告)日
2012-07-18
发明(设计)人
朱殿荣 曹俊
申请人
申请人地址
214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号
IPC主分类号
F16J1543
IPC分类号
代理机构
南京天华专利代理有限责任公司 32218
代理人
夏平
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
[41]
一种真空镀膜装置的传动机构 [P]. 
陈文静 ;
周鉴 ;
张洪华 ;
陈育茹 ;
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梁发文 ;
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丁晨锦 ;
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真空镀膜传动机构的固定装置 [P]. 
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一种磁流体密封装置 [P]. 
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一种磁流体密封装置 [P]. 
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