一种掺铝氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210506069.2

申请日：

2012-11-30

公开(公告)号：

CN102943253A

公开(公告)日：

2013-02-27

发明(设计)人：

孙蓉陈锐强朱朋莉赵涛

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号

IPC主分类号：

C23C1812

IPC分类号：

C23C1800

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 18/12 申请公布日:20130227
2013-02-27	公开	公开
2015-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101608383908 IPC(主分类):C23C 18/12 专利申请号:2012105060692 申请日:20121130

共 50 条

[1]

一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

屈飞 ;

古宏伟 ;

张腾 ;

丁发柱 ;

彭星煜 ;

王洪艳 .

中国专利 :CN103526169A ,2014-01-22

[2]

一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的退火方法 [P].

曹永革 ;

邓种华 ;

黄常刚 .

中国专利 :CN101985740A ,2011-03-16

[3]

掺钼的氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 [P].

韩圣浩 ;

修显武 ;

庞智勇 ;

吕茂水 ;

叶丽娜 ;

林亮 .

中国专利 :CN100353464C ,2006-08-23

[4]

一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

谷怀民 ;

沈兴纲 ;

石恒志 ;

李继航 .

中国专利 :CN108374162B ,2018-08-07

[5]

一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

朱华 ;

王艳香 ;

况慧芸 ;

杨志胜 ;

范学运 ;

郭平春 ;

冯晓炜 .

中国专利 :CN105018882A ,2015-11-04

[6]

一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法 [P].

张跃 ;

谢春燕 ;

谷景华 .

中国专利 :CN101696492B ,2010-04-21

[7]

一种超薄铝掺杂氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 [P].

杨晔 ;

王木钦 ;

朱科 ;

黄金华 ;

兰品军 ;

宋伟杰 .

中国专利 :CN103632754B ,2014-03-12

[8]

一种多孔梯度化掺铝氧化锌透明导电薄膜及其制备方法与应用 [P].

乔昂 ;

蔡沐之 ;

孙腾龙 ;

郭超慧 ;

陶海征 .

中国专利 :CN120708997A ,2025-09-26

[9]

一种掺铝氧化锌导电薄膜的制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN106637118A ,2017-05-10

[10]

氧化锌掺钇(ZnO:Y)透明导电薄膜及其制备方法 [P].

杨田林 ;

宋淑梅 ;

刘清田 ;

姜丽莉 ;

辛艳青 ;

孔伟毕 ;

李延辉 ;

韩圣诰 .

中国专利 :CN101552048A ,2009-10-07

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