一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的退火方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910112270.0

申请日：

2009-07-29

公开(公告)号：

CN101985740A

公开(公告)日：

2011-03-16

发明(设计)人：

曹永革邓种华黄常刚

申请人：

申请人地址：

350002 福建省福州市杨桥西路155号

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1406 C23C1435

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101696310266 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2009101122700 申请公布日:20110316
2011-03-16	公开	公开
2012-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101292909952 IPC(主分类):C23C 14/56 专利申请号:2009101122700 申请日:20090729

共 50 条

[1]

一种掺铝氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 [P].

孙蓉 ;

陈锐强 ;

朱朋莉 ;

赵涛 .

中国专利 :CN102943253A ,2013-02-27

[2]

一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

屈飞 ;

古宏伟 ;

张腾 ;

丁发柱 ;

彭星煜 ;

王洪艳 .

中国专利 :CN103526169A ,2014-01-22

[3]

一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

朱华 ;

王艳香 ;

况慧芸 ;

杨志胜 ;

范学运 ;

郭平春 ;

冯晓炜 .

中国专利 :CN105018882A ,2015-11-04

[4]

掺钼的氧化锌透明导电薄膜及其制备方法 [P].

韩圣浩 ;

修显武 ;

庞智勇 ;

吕茂水 ;

叶丽娜 ;

林亮 .

中国专利 :CN100353464C ,2006-08-23

[5]

一种掺铝氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

谷怀民 ;

沈兴纲 ;

石恒志 ;

李继航 .

中国专利 :CN108374162B ,2018-08-07

[6]

一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法 [P].

张跃 ;

谢春燕 ;

谷景华 .

中国专利 :CN101696492B ,2010-04-21

[7]

一种氧化锌透明导电薄膜及其制造方法 [P].

王钢 ;

王孟源 ;

童存声 ;

雷秀铮 ;

江灏 .

中国专利 :CN102251277A ,2011-11-23

[8]

一种掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备方法 [P].

黄延伟 .

中国专利 :CN103173726A ,2013-06-26

[9]

一种掺铝氧化锌导电薄膜的制备方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN106637118A ,2017-05-10

[10]

铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的低温制备方法 [P].

姜来新 ;

牟海川 ;

毛启明 ;

宋佳 .

中国专利 :CN102021535A ,2011-04-20

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