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互连结构及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201711306042.8
申请日：
2017-12-11
公开(公告)号：
CN109904111B
公开(公告)日：
2019-06-18
发明(设计)人：
韩秋华
严凯
吴端毅
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L23538
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
李浩
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-06 | 授权 | 授权 |
| 2019-06-18 | 公开 | 公开 |
| 2019-07-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20171211 |