互连结构及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510146587.1

申请日：

2015-03-31

公开(公告)号：

CN105633012A

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

钟汇才朱慧珑赵超

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

倪斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	公开	公开
2016-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101667885636 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015101465871 申请日:20150331
2020-01-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20160601

共 50 条

[1]

互连结构及其制造方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN107564850B ,2018-01-09

[2]

互连结构及其制造方法 [P].

邓浩 ;

周鸣 .

中国专利 :CN109904133A ,2019-06-18

[3]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107680932B ,2018-02-09

[4]

互连结构及其制造方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN107591357B ,2018-01-16

[5]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN107887323A ,2018-04-06

[6]

互连结构及其制造方法 [P].

何作鹏 ;

朱继光 .

中国专利 :CN108122820A ,2018-06-05

[7]

互连结构及其制造方法 [P].

韩秋华 ;

严凯 ;

吴端毅 .

中国专利 :CN109904111B ,2019-06-18

[8]

互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN108231659B ,2018-06-29

[9]

铜互连结构及其制造方法 [P].

杨智超 ;

M.A.伯根达尔 ;

D.V.霍勒克 ;

李保振 ;

S.波诺思 .

中国专利 :CN103811464B ,2014-05-21

[10]

互连结构及其制造方法 [P].

杰弗里·P.·冈比诺 ;

贾森·P.·吉尔 ;

简恩·E.·怀恩 ;

P.E.·希恩·斯密斯 .

中国专利 :CN101051632A ,2007-10-10

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