有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010413700.9

申请日：

2020-05-15

公开(公告)号：

CN111948903A

公开(公告)日：

2020-11-17

发明(设计)人：

郡大佑中原贵佳泽村昂志佐藤裕典山本靖之

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

G03F711 G03F709 C08G6102

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/004 申请日:20200515
2020-11-17	公开	公开

共 50 条

[1]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

泽村昂志 ;

佐藤裕典 ;

山本靖之 .

日本专利 :CN111948903B ,2025-08-29

[2]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

泽村昂志 ;

石绵健汰 ;

中原贵佳 .

中国专利 :CN112034681A ,2020-12-04

[3]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

泽村昂志 ;

石绵健汰 ;

中原贵佳 .

日本专利 :CN112034681B ,2024-08-20

[4]

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 ;

矢野俊治 .

中国专利 :CN112213919A ,2021-01-12

[5]

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 ;

矢野俊治 .

日本专利 :CN112213919B ,2024-09-27

[6]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

山本靖之 ;

佐藤裕典 ;

荻原勤 .

日本专利 :CN111913352B ,2025-08-01

[7]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

山本靖之 ;

佐藤裕典 ;

荻原勤 .

中国专利 :CN111913352A ,2020-11-10

[8]

有机膜形成用组成物、有机膜形成方法、图案形成方法及聚合物 [P].

郡大佑 ;

山本靖之 .

日本专利 :CN121115406A ,2025-12-12

[9]

有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 .

中国专利 :CN112859516A ,2021-05-28

[10]

有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 .

日本专利 :CN112859516B ,2024-09-24

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