有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011354547.3

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN112859516B

公开(公告)日：

2024-09-24

发明(设计)人：

郡大佑中原贵佳石绵健汰山本靖之

申请人：

信越化学工业株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

C08G65/34

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 .

中国专利 :CN112859516A ,2021-05-28

[2]

有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

泽村昂志 ;

新井田惠介 ;

橘诚一郎 .

中国专利 :CN113281964A ,2021-08-20

[3]

有机膜形成用材料、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

泽村昂志 ;

新井田惠介 ;

橘诚一郎 .

日本专利 :CN113281964B ,2024-11-22

[4]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

泽村昂志 ;

佐藤裕典 ;

山本靖之 .

中国专利 :CN111948903A ,2020-11-17

[5]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

中原贵佳 ;

泽村昂志 ;

佐藤裕典 ;

山本靖之 .

日本专利 :CN111948903B ,2025-08-29

[6]

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 ;

矢野俊治 .

中国专利 :CN112213919A ,2021-01-12

[7]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

泽村昂志 ;

石绵健汰 ;

中原贵佳 .

日本专利 :CN112034681B ,2024-08-20

[8]

有机膜形成用组成物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

泽村昂志 ;

石绵健汰 ;

中原贵佳 .

中国专利 :CN112034681A ,2020-12-04

[9]

有机膜形成用组合物、图案形成方法、以及聚合物 [P].

郡大佑 ;

石绵健汰 ;

山本靖之 ;

矢野俊治 .

日本专利 :CN112213919B ,2024-09-27

[10]

有机膜形成材料、以及图案形成方法及聚合物 [P].

郡大佑 ;

橘诚一郎 ;

野中汐里 ;

荻原勤 .

中国专利 :CN114690555A ,2022-07-01

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