微波等离子气相沉积设备

被引:0
专利类型
外观设计
申请号
CN202030538115.2
申请日
2020-09-11
公开(公告)号
CN306322116S
公开(公告)日
2021-02-09
发明(设计)人
张新峰 王炜 龙安泽
申请人
申请人地址
226500 江苏省南通市如皋市城南街道电信东一路6号
IPC主分类号
1599
IPC分类号
代理机构
北京汇信合知识产权代理有限公司 11335
代理人
孙腾
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
微波等离子化学气相沉积设备 [P]. 
党文立 ;
蒋明权 .
中国专利 :CN118835224B ,2024-11-29
[2]
微波等离子化学气相沉积设备 [P]. 
党文立 ;
蒋明权 .
中国专利 :CN118835224A ,2024-10-25
[3]
等离子体气相沉积设备 [P]. 
王凤明 ;
李王俊 ;
陈晨 .
中国专利 :CN111705307A ,2020-09-25
[4]
微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩 [P]. 
刘华 ;
刘引 .
中国专利 :CN214572217U ,2021-11-02
[5]
微波等离子化学气相沉积设备用屏蔽罩 [P]. 
刘华 ;
刘引 .
中国专利 :CN214572218U ,2021-11-02
[6]
一种微波等离子气相沉积金刚石的设备 [P]. 
曹晓君 .
中国专利 :CN113430499A ,2021-09-24
[7]
自动循环等离子气相沉积系统 [P]. 
朱刚劲 ;
朱刚毅 ;
朱文廓 .
中国专利 :CN202808940U ,2013-03-20
[8]
自动循环等离子气相沉积系统 [P]. 
朱刚劲 ;
朱刚毅 ;
朱文廓 .
中国专利 :CN102560426A ,2012-07-11
[9]
螺旋波等离子气相沉积装置 [P]. 
胡颖 .
中国专利 :CN208472189U ,2019-02-05
[10]
微波等离子体化学气相沉积设备(MPCVD) [P]. 
张俊生 ;
胡常青 .
中国专利 :CN308664259S ,2024-05-31