共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
微波等离子化学气相沉积设备用屏蔽罩
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023283135.3
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN214572218U
公开(公告)日：
2021-11-02
发明(设计)人：
刘华
刘引
申请人：
申请人地址：
610200 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区空港一路二段68号
IPC主分类号：
C23C16511
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-02 | 授权 | 授权 |