一种微波等离子化学气相沉积生长温度检测支架

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420796191.6

申请日：

2024-04-17

公开(公告)号：

CN222087158U

公开(公告)日：

2024-11-29

发明(设计)人：

侯淅燕郑怡李兵

申请人：

成都稳正科技有限公司

申请人地址：

611730 四川省成都市郫都区现代工业港数码二路2号102-6楼A区

IPC主分类号：

G01K1/14

IPC分类号：

代理机构：

成都春夏知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51317

代理人：

陈春华

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微波等离子化学气相沉积生长基台升降装置 [P].

袁稳 ;

郑怡 ;

侯淅燕 .

中国专利 :CN222975289U ,2025-06-13

[2]

微波等离子化学气相沉积设备 [P].

党文立 ;

蒋明权 .

中国专利 :CN118835224A ,2024-10-25

[3]

微波等离子化学气相沉积设备 [P].

党文立 ;

蒋明权 .

中国专利 :CN118835224B ,2024-11-29

[4]

一种倒置式微波等离子化学气相沉积腔体 [P].

袁稳 ;

郑怡 ;

李兵 .

中国专利 :CN216149678U ,2022-04-01

[5]

一种微波等离子化学气相沉积金刚石生长设备供气系统 [P].

袁稳 ;

李兵 ;

郑华 .

中国专利 :CN222574780U ,2025-03-07

[6]

微波等离子化学气相沉积设备用屏蔽罩 [P].

刘华 ;

刘引 .

中国专利 :CN214572218U ,2021-11-02

[7]

微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩 [P].

刘华 ;

刘引 .

中国专利 :CN214572217U ,2021-11-02

[8]

一种基板台、沉积部和微波等离子化学气相沉积装置 [P].

王垒 ;

温简杰 .

中国专利 :CN212316283U ,2021-01-08

[9]

等离子化学气相沉积装置 [P].

张志强 ;

彭帆 ;

杨平 .

中国专利 :CN207727148U ,2018-08-14

[10]

一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统 [P].

朱振龙 .

中国专利 :CN213113506U ,2021-05-04

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