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一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202021662200.0
申请日：
2020-08-11
公开(公告)号：
CN213113506U
公开(公告)日：
2021-05-04
发明(设计)人：
朱振龙
申请人：
申请人地址：
200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
IPC主分类号：
C23C16511
IPC分类号：
代理机构：
南昌金轩知识产权代理有限公司 36129
代理人：
余鹏锦
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-19 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/511 申请日:20200811 授权公告日:20210504 终止日期:20210811 |
| 2021-05-04 | 授权 | 授权 |