一种微波等离子化学气相沉积金刚石生长设备供气系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420847774.7

申请日：

2024-04-23

公开(公告)号：

CN222574780U

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

袁稳李兵郑华

申请人：

成都稳正科技有限公司

申请人地址：

611730 四川省成都市郫都区现代工业港数码二路2号102-6楼A区

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/511 C23C16/27 C23C16/52

代理机构：

成都春夏知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51317

代理人：

陈春华

法律状态：

授权

国省代码：

四川省成都市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	授权	授权

共 50 条

[1]

微波等离子化学气相沉积设备 [P].

党文立 ;

蒋明权 .

中国专利 :CN118835224A ,2024-10-25

[2]

微波等离子化学气相沉积设备 [P].

党文立 ;

蒋明权 .

中国专利 :CN118835224B ,2024-11-29

[3]

一种基于单晶金刚石横向生长的等离子化学气相沉积系统 [P].

余斌 ;

余海粟 ;

朱轶方 ;

李陈陈 .

中国专利 :CN120866932A ,2025-10-31

[4]

一种微波等离子化学气相沉积生长温度检测支架 [P].

侯淅燕 ;

郑怡 ;

李兵 .

中国专利 :CN222087158U ,2024-11-29

[5]

一种倒置式微波等离子化学气相沉积腔体 [P].

袁稳 ;

郑怡 ;

李兵 .

中国专利 :CN216149678U ,2022-04-01

[6]

一种微波等离子化学气相沉积生长基台升降装置 [P].

袁稳 ;

郑怡 ;

侯淅燕 .

中国专利 :CN222975289U ,2025-06-13

[7]

微波等离子化学气相沉积设备用屏蔽罩 [P].

刘华 ;

刘引 .

中国专利 :CN214572218U ,2021-11-02

[8]

微波等离子化学气相沉积设备用冷却罩 [P].

刘华 ;

刘引 .

中国专利 :CN214572217U ,2021-11-02

[9]

一种金刚石薄膜的射频等离子化学气相沉积装置 [P].

皮超杰 ;

徐国龙 ;

夏震 .

中国专利 :CN206512273U ,2017-09-22

[10]

一种无仓门式微波等离子化学气相沉积系统 [P].

朱振龙 .

中国专利 :CN213113506U ,2021-05-04

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