等离子体装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510129428.7

申请日：

2005-12-08

公开(公告)号：

CN100414673C

公开(公告)日：

2006-06-28

发明(设计)人：

崔熙焕金湘甲吴旼锡秦洪基

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L2100 H05H100 H01J3732

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20051208 授权公告日:20080827 终止日期:20161208
2006-06-28	公开	公开
2006-08-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-08-27	授权	授权
2012-12-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101480957299 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利号:ZL2005101294287 变更事项:专利权人变更前权利人:三星电子株式会社变更后权利人:三星显示有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20121105

共 50 条

[1]

等离子体装置 [P].

柯明贤 ;

赖丰文 ;

林昆蔚 ;

张均豪 ;

陈泰宏 .

中国专利 :CN103839747A ,2014-06-04

[2]

等离子体装置 [P].

吉村拓也 ;

小泉雅史 ;

井出光太郎 ;

芦高优 .

中国专利 :CN107452588B ,2017-12-08

[3]

等离子体装置 [P].

徐逸明 ;

王立民 ;

李安仁 .

中国专利 :CN105025647A ,2015-11-04

[4]

等离子体装置 [P].

泷川慎二 ;

神藤高广 .

中国专利 :CN114747299A ,2022-07-12

[5]

等离子体装置 [P].

泷川慎二 ;

岩田卓也 ;

日下航 ;

柳原一辉 .

中国专利 :CN114830834A ,2022-07-29

[6]

等离子体装置 [P].

泷川慎二 ;

神藤高广 .

日本专利 :CN114747299B ,2025-01-07

[7]

等离子体装置 [P].

石井信雄 .

中国专利 :CN1314085C ,2004-11-03

[8]

等离子体装置 [P].

苏恒毅 .

中国专利 :CN108882494B ,2018-11-23

[9]

等离子体装置 [P].

黄逸凡 ;

江敏 ;

王永刚 ;

易志健 .

中国专利 :CN210129997U ,2020-03-06

[10]

等离子体装置 [P].

马场哲治 ;

加藤典之 .

中国专利 :CN108220907B ,2018-06-29

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