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等离子体装置
被引：0
申请号：
CN201980102527.6
申请日：
2019-12-24
公开(公告)号：
CN114747299A
公开(公告)日：
2022-07-12
发明(设计)人：
泷川慎二
神藤高广
申请人：
申请人地址：
日本爱知县知立市
IPC主分类号：
H05H100
IPC分类号：
代理机构：
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人：
杨青;安翔
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-12 | 公开 | 公开 |
| 2022-07-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/00 申请日:20191224 |