射频电感耦合等离子体发生天线

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720074856.9

申请日：

2007-09-20

公开(公告)号：

CN201114977Y

公开(公告)日：

2008-09-10

发明(设计)人：

徐旭李林森刘峰梁荣庆

申请人：

申请人地址：

200433上海市邯郸路220号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海正旦专利代理有限公司

代理人：

陆飞;盛志范

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-09-10	授权	授权
2011-11-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101141711192 IPC(主分类):H05H 1/46 专利号:ZL2007200748569 申请日:20070920 授权公告日:20080910 终止日期:20100920

共 50 条

[1]

射频电感耦合等离子体灭菌器 [P].

王龙哲 .

中国专利 :CN101797394A ,2010-08-11

[2]

电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置 [P].

中川良知 ;

一宫丰 .

中国专利 :CN105979692B ,2016-09-28

[3]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202352478U ,2012-07-25

[4]

电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 [P].

窦伟 ;

李楠 ;

李超波 ;

夏洋 .

中国专利 :CN202384293U ,2012-08-15

[5]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2785310Y ,2006-05-31

[6]

电感耦合等离子体装置 [P].

张宝峰 .

中国专利 :CN2775992Y ,2006-04-26

[7]

电感耦合等离子体发生器 [P].

刘召贵 ;

唐勇刚 .

中国专利 :CN301301993S ,2010-08-04

[8]

电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置 [P].

东条利洋 .

中国专利 :CN103167717B ,2013-06-19

[9]

电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN103037612A ,2013-04-10

[10]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体发生装置 [P].

张文雯 .

中国专利 :CN101500369B ,2009-08-05

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