检测装置、光刻装置以及物品的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410506206.1

申请日：

2014-09-28

公开(公告)号：

CN104516214B

公开(公告)日：

2015-04-15

发明(设计)人：

赤松昭郎

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

李今子

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-26	授权	授权
2015-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609211298 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014105062061 申请日:20140928
2015-04-15	公开	公开

共 50 条

[1]

检测装置、光刻装置以及物品制造方法 [P].

松田光一郎 .

中国专利 :CN110531586B ,2019-12-03

[2]

标记检测装置、光刻装置以及物品制造方法 [P].

丸田卓司 .

日本专利 :CN121008455A ,2025-11-25

[3]

检测装置、检测方法、图案化装置以及物品制造方法 [P].

坂本宪稔 .

中国专利 :CN109690419A ,2019-04-26

[4]

曝光装置以及物品的制造方法 [P].

大野文靖 .

中国专利 :CN107436539A ,2017-12-05

[5]

检测装置、压印装置及物品的制造方法 [P].

稻田博志 ;

三岛和彦 ;

宫春隆文 .

中国专利 :CN104849956B ,2015-08-19

[6]

光学装置、曝光装置以及物品制造方法 [P].

矢田裕纪 .

日本专利 :CN112286002B ,2024-08-13

[7]

光学装置、曝光装置以及物品制造方法 [P].

矢田裕纪 .

中国专利 :CN112286002A ,2021-01-29

[8]

光学装置、曝光装置以及物品制造方法 [P].

矢田裕纪 .

日本专利 :CN118550164A ,2024-08-27

[9]

位置检测装置、位置检测方法、压印装置及物品的制造方法 [P].

佐藤浩司 .

中国专利 :CN105222705A ,2016-01-06

[10]

检测装置、检测方法、程序、光刻装置和物品制造方法 [P].

坂本宪稔 .

中国专利 :CN107305320B ,2017-10-31

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