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检测装置、检测方法、程序、光刻装置和物品制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710247044.8
申请日：
2017-04-17
公开(公告)号：
CN107305320B
公开(公告)日：
2017-10-31
发明(设计)人：
坂本宪稔
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
宋岩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-05-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170417 |
| 2020-12-29 | 授权 | 授权 |
| 2017-10-31 | 公开 | 公开 |