一种直拉单晶硅的Sb掺杂装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201521047045.0

申请日：

2015-12-15

公开(公告)号：

CN205329208U

公开(公告)日：

2016-06-22

发明(设计)人：

沈杨宇贺贤汉小暮康弘

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号

IPC主分类号：

C30B1504

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

上海顺华专利代理有限责任公司 31203

代理人：

陈淑章

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-01	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B 15/04 变更事项:专利权人变更前:上海新欣晶圆半导体科技有限公司变更后:上海中欣晶圆半导体科技有限公司变更事项:地址变更前:200444 上海市宝山区山连路181号1幢变更后:200444 上海市宝山区山连路181号1幢
2020-01-03	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C30B 15/04 登记生效日:20191216 变更事项:专利权人变更前权利人:上海申和热磁电子有限公司变更后权利人:上海新欣晶圆半导体科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:200444 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号变更后权利人:200444 上海市宝山区山连路181号1幢
2016-06-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掺杂的直拉单晶硅 [P].

赵钧永 .

中国专利 :CN102312292A ,2012-01-11

[2]

一种直拉单晶硅的掺杂装置 [P].

马元良 ;

惠宝锋 ;

高俊伟 ;

韩永龙 ;

高玉顺 ;

宋生宏 .

中国专利 :CN216107315U ,2022-03-22

[3]

一种直拉单晶硅的掺杂装置 [P].

孙新利 .

中国专利 :CN203583005U ,2014-05-07

[4]

用于直拉单晶硅炉的排气罩以及直拉单晶硅炉 [P].

史记全 ;

郭凯 ;

王海渤 ;

雷浩 .

中国专利 :CN201835003U ,2011-05-18

[5]

直拉单晶硅加热装置 [P].

周惠 ;

关树军 ;

洪华 ;

路建华 ;

曾宏强 .

中国专利 :CN220927021U ,2024-05-10

[6]

一种直拉单晶硅掺杂用悬挂组件 [P].

吴彦国 ;

令狐铁兵 ;

李京涛 ;

秦露露 ;

方丽霞 ;

张奇 .

中国专利 :CN214142608U ,2021-09-07

[7]

一种直拉单晶硅除尘装置 [P].

高俊伟 ;

马元良 ;

惠宝锋 ;

高玉顺 ;

韩永龙 ;

宋生宏 .

中国专利 :CN215918474U ,2022-03-01

[8]

一种直拉单晶硅方法 [P].

肖德元 .

中国专利 :CN108660509A ,2018-10-16

[9]

硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置 [P].

张忠安 ;

张忠华 ;

张俊 ;

凌继贝 .

中国专利 :CN209397293U ,2019-09-17

[10]

一种直拉法生产单晶硅用掺杂装置 [P].

成文辉 .

中国专利 :CN202131395U ,2012-02-01

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