一种掺杂的直拉单晶硅

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专利类型
发明
申请号
CN201010218721.1
申请日
2010-07-05
公开(公告)号
CN102312292A
公开(公告)日
2012-01-11
发明(设计)人
赵钧永
申请人
申请人地址
200335 上海市仙霞西路300弄14号1101室
IPC主分类号
C30B2906
IPC分类号
C30B1504
代理机构
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共 50 条
[1]
一种掺杂的铸造单晶硅及制备方法 [P]. 
赵钧永 .
中国专利 :CN102312291A ,2012-01-11
[2]
一种直拉单晶硅的Sb掺杂装置 [P]. 
沈杨宇 ;
贺贤汉 ;
小暮康弘 .
中国专利 :CN205329208U ,2016-06-22
[3]
一种掺杂单晶硅的直拉生长方法及掺杂单晶硅 [P]. 
王文华 ;
杨东 ;
赵鹏 .
中国专利 :CN115478321A ,2022-12-16
[4]
一种掺杂单晶硅的直拉生长方法及掺杂单晶硅 [P]. 
王文华 ;
杨东 ;
赵鹏 .
中国专利 :CN115478321B ,2024-05-10
[5]
一种直拉单晶硅的掺杂装置 [P]. 
马元良 ;
惠宝锋 ;
高俊伟 ;
韩永龙 ;
高玉顺 ;
宋生宏 .
中国专利 :CN216107315U ,2022-03-22
[6]
一种直拉单晶硅的掺杂装置 [P]. 
孙新利 .
中国专利 :CN203583005U ,2014-05-07
[7]
一种单晶硅直拉热场及单晶硅直拉工艺 [P]. 
焦鹏 ;
王玉龙 ;
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中国专利 :CN118109896A ,2024-05-31
[8]
直拉单晶硅制备的方法 [P]. 
陈奕峰 ;
赵金强 ;
陈泓钧 .
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[9]
一种直拉单晶硅掺杂用悬挂组件 [P]. 
吴彦国 ;
令狐铁兵 ;
李京涛 ;
秦露露 ;
方丽霞 ;
张奇 .
中国专利 :CN214142608U ,2021-09-07
[10]
硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置 [P]. 
张忠安 ;
张忠华 ;
张俊 ;
凌继贝 .
中国专利 :CN209397293U ,2019-09-17